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在周期多层膜基础上,采用随机数方法找到适当的非周期膜系,极大地提高了反射光通量,并给出了整体设计步骤,模拟计算结果表明非周期多层有扩展带宽和提高反射率积分值。在12.4-20.1nm波段内,最佳非周期多层膜与峰值在中心波长λ=16.25nm处的周期多层膜相比,理论积分反射率提高了75%,多个多层膜组成系统的积分强度无明显改善。