三维封装电迁移Cu互连线的多物理场模拟仿真

来源 :材料导报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:com_cn121
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
随着三维封装微互连尺寸向亚微米发展,电流密度大、应力大、散热困难等问题愈发严重,原子尺度迁移失效现象逐渐成为超大规模集成电路不可忽视的可靠性问题。铜比铝的电阻率低,抗电迁移性能更好,是新一代的可靠互连材料,但是对铜互连的原子迁移研究仍有不足。现有的电迁移(Electromigration)可靠性解析化模型主要针对单根金属线恒定温度情形下的电迁移分析,这种方法虽然计算较为简单,但是对现实情况的指导意义较小,主要原因:一是现实情况下高密度集成电路中存在温度梯度,二是互连线的三维结构对互连线的温度以及电流分布有
其他文献
3月26日上午,北京市通州区现代化国际新城的滨河公园内春意盎然、阳光明媚,来自中共中央直属机关和中央国家机关各部委、单位的197名部级领导在这里举行义务植树活动。
【摘 要】煤矿是常见的一种自然资源,并且具有很大的利用价值。一方面社会主义产业经济深化发展,另一方面企业对煤矿资源的需求量日趋增多,能源供应不足限制了国民经济收益水平的提高。从能源供应链角度考虑,合理地开采应用自然资源是经济改革发展的必经之路。煤矿开采属于科学规划自然资源的应用范畴,选择先进的开采技术是保证采矿质量的前提条件。鉴于此,本文分析了现代煤矿开采技术的应用状况。  【关键词】煤矿开采;
目的分析比较ADNEX模型、哥本哈根指数(CPH-I)以及两者联合对卵巢肿瘤良恶性的诊断效能,探讨预测卵巢恶性肿瘤的独立危险因素。方法回顾性分析2018年1月至2019年12月于常州市
【摘要】在路桥工程中,沥青路面技术成熟、施工方便、材料供给充足、经济可行。本文主要对沥青路面裂缝的成因进行了分析,提出了预防和治理措施。  【关键词】沥青路面;裂缝;成因;防治措施     在路桥工程中,沥青路面是一种经常采用的一种公路路面,它技术成熟、施工方便、材料供给充足、经济可行。同时,沥青路面的裂缝是经常发生的,对于公路质量和寿命产生严重影响,因此,必须分析其原因,研究预防和治理措施。  
为了解决低温相变材料稳定性差、不易储存运输等问题,以六亚甲基二异氰酸酯(HDI)、1,3-丙二胺为壁材单体,以相变温度较低、相变潜热较高的十二醇为芯材,通过界面聚合法制备了
德育是关系到小学生健康成长与全面发展的核心教育,传统文化与小学德育融合,是教育顺应时代发展的必然要求。在小学德育中,教师应当重视其与传统文化的融合,借助传统文化中内
随着网络社交媒体的发展,游客摄影图像极大影响了旅游目的地形象的塑造和传播。摄影图像直接反映了游客对旅游目的地的形象感知,为历史文化街区的场所营造提供了宝贵视角。以
1 经营情况 山东晨鸣纸业集团公司2003年生产经营稳定,运行质量不断提高,经济效益连续9年居全国同行业榜首。公司突出以发展为主题,采取多种措施,强化指挥调度,实现了年产30万t铜
韩安是我国近代林业的开拓者之一,在林业史上的地位不容忽视。农林部中央林业实验所是民国时期建立的林业科研机构,对当时国家的经济民生起到了重要作用。1941−1949年,韩安
根据台州市域铁路S1线的负荷特点及外部电源情况,对中压环网供电系统10k V、20k V及35k V三种不同电压等级电力供电方案进行技术经济分析,推荐台州市域铁路S1线采用20k V电压