【摘 要】
：
详细阐述了用于纳米定位的偏振激光干涉仪的原理,并介绍了基于该偏振仪的纳米定位控制方法.该方法已由实验论证,实验位移系统的最小步长实测值为5 nm.并对系统的最小位移步长
【机 构】
：
中国计量学院机电工程学院,法国凡尔赛大学LISV实验室,中国计量学院计量测试工程学院,
论文部分内容阅读
详细阐述了用于纳米定位的偏振激光干涉仪的原理,并介绍了基于该偏振仪的纳米定位控制方法.该方法已由实验论证,实验位移系统的最小步长实测值为5 nm.并对系统的最小位移步长、重复性和分辨率做了详细的分析,在系统环境控制条件下适用于毫米行程位移,可应用于纳米计量和纳米加工.
The principle of polarization laser interferometer for nano-positioning is described in detail, and the method of nano-positioning control based on the polarizer is introduced. The method has been proved by experiments that the minimum step length of experimental displacement system is 5 nm. The minimum displacement step size, repeatability and resolution of the system are analyzed in detail and applied to the displacement of millimeter under the control of system environment, which can be applied to nanometer measurement and nanometer processing.
其他文献
弹性体基纳米复合材料是材料科学与工程领域的研究重点,具有优于传统聚合物复合材料的力学性能。然而,如何控制纳米填料在弹性体基体中稳定的分散状态是实现弹性体纳米复合材
本文基于机械搅拌的原理,研发了强制对流流变设备(Forced Convection Rheoforming Machine,简称FCR),制备了高质量的铝合金流变压铸成形件。研究了工艺参数对7075铝合金半固
以斜沟煤矿滚筒式采煤机为研究对象,在分别建立其截割部动力学模型和三维仿真模型的基础上,对不同截齿安装角度和螺旋升角下的动力学特性进行仿真分析。仿真分析认为,MG-260/
以双重数据采集采集母线电压、进线电流的实时量,可自动记录下电动机及配电线路的正常运行和起动时的电气参数,提供再起动工况下的准确计算,对整个顺序再起动过程旅行实时检
目的评估中药升降散对纠正脓毒症免疫功能紊乱和改善患者症状的临床疗效。方法选取2014年6月至2016年6月在宁夏回族自治区工人医院就诊的53例脓毒症患者作为研究对象,根据住
建立了电感耦合等离子体原子发射光谱(ICP-AES)法测定固体废物中Cr(Ⅵ)的测定方法。将硝酸硫酸法"HJ/T299-2007"浸提的浸出液,用聚氯化铝絮凝剂将Cr(Ⅲ)沉淀除去,采用电感耦
贫燃熄火(LeanBlowout,LBO)属于一类特殊的不稳定燃烧现象,往往导致严重后果.因此,及时准确地预测出贫燃熄火现象是实现燃烧稳定性控制的一个重要前提.本文综述了2000年以来,
利用微机动态检测电网母线电压、进线电流,通过实时检测、快速计算进行智能化控制,以对再起动电动机逐批发出自起动指令,使再起动过程更加合理,满足规范和生产工艺流程要求,
今年，我刚刚接了一个高一新班，这个班是学校招收的一个实验班，作为班主任，我深感肩上的担子又加重了。
了解小学高年级学生抑郁情绪现况及其影响因素，为改善小学生心理健康提供帮助。对兰州市某小学高年级学生进行随机分层整群抽样，采用流调中心用抑郁量表（CES—D）制订调查问卷匿名