【摘 要】
：
随着肖特基势垒二极管对反向击穿电压一致性指标要求的进一步严格,对所需重掺衬底的硅外延层厚度和电阻率参数的均匀性指标提出了更高的要求。同时,为满足肖特基势垒二极管低
【机 构】
：
中国电子科技集团公司第四十六研究所
论文部分内容阅读
随着肖特基势垒二极管对反向击穿电压一致性指标要求的进一步严格,对所需重掺衬底的硅外延层厚度和电阻率参数的均匀性指标提出了更高的要求。同时,为满足肖特基势垒二极管低正向压降的性能,对外延层过渡区宽度的控制难度加大。使用PE-2061S桶式外延炉,通过综合采取低温本征法、变流吹扫及低速外延沉积等工艺手段,成功实施了重掺衬底上窄过渡区硅外延层的生长工艺,硅外延层厚度和电阻率不均匀性均达到<1.5%的要求,而且过渡区宽度可以<1.6μm。
其他文献
目的:阐述重型颅脑交通伤的特点和救治体会.方法:256例重型颅脑交通伤中有93例行保守治疗,163例行开颅手术治疗,积极纠正休克,改善脑缺氧,脱水药物降颅压,配合应用防止脑血管
随着我国新课改的开展,高中地理也从原来的教学应试化向培养学生综合素质的目标而转变。为了适应新课改,高中地理也应该引进更多具有创新型的教学方法,更好地达到新课改的教
糖尿病视网膜病变的病机以气阴两虚为本,气滞血瘀为标,目前西医治疗糖尿病视网膜病变的手段欠丰富,而中医在改善视力,预防本病的发生、发展方面有其独特的优势。目前临床有辨
中国留学生造假案波澜再起。早报记者日前获悉，今年7月卷入新西兰留学申请材料造假丑闻的231名中国留学生，有49人被确认存在造假行为，其中16人已经被遣返回国。$$ 近几年
ue＊M＃’＃dkB4＃＃8＃”专利申请号:00109“7公开号:1278062申请日:00.06.23公开日:00.12.27申请人地址:（100084川C京市海淀区清华园申请人:清华大学发明人:隋森芳文摘:本发明属于生物技
中秋、国庆是在外人想家的日子,今年刚分配到苏北小城金湖县工作的徐琼等几位湖北、河南籍大学生纷纷写信、打电话给千里遥望的亲人,聊叙相思情以及刘副局长等当地领导对他们