【摘 要】
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建立了真空微镊子吸附物理模型,基于Hamaker 3个假设及空隙修正理论,推导出被镊物体分别为球、抛物面体和六面体时微镊子和被镊物体间吸附力的数学模型,经仿真得出吸附力仿真
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建立了真空微镊子吸附物理模型,基于Hamaker 3个假设及空隙修正理论,推导出被镊物体分别为球、抛物面体和六面体时微镊子和被镊物体间吸附力的数学模型,经仿真得出吸附力仿真结果,并得到微镊子同被镊物体的间隙为r/2时(r为原子半径),吸附力最大的结论,从而为微镊子结构设计和电路控制提供理论基础.
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