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期刊论文
选择栅共享式分栅闪存单元特性研究
选择栅共享式分栅闪存单元特性研究
来源 :集成电路应用 | 被引量 : 0次 | 上传用户:supphia
【摘 要】
:
阐述一种新型的选择栅共享式分栅闪存,该闪存单元具有优异的耐久性,数据保持,抗编程串扰特性,同时该闪存单元具有面积小,工艺成本低,可微缩性强等特点。研究对该闪存单元的耐久性,数据保持,编程串扰等特性,探讨读取、擦写和编程操作电压的优化方案。
【作 者】
:
李冰寒
王哲献
高超
江红
索鑫
【机 构】
:
上海华虹宏力半导体制造有限公司
【出 处】
:
集成电路应用
【发表日期】
:
2021年5期
【关键词】
:
集成电路制造
分栅
闪存
选择栅
操作条件
可靠性
【基金项目】
:
上海市经济和信息化委员会软件和集成电路产业发展专项基金(1700223)。
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阐述一种新型的选择栅共享式分栅闪存,该闪存单元具有优异的耐久性,数据保持,抗编程串扰特性,同时该闪存单元具有面积小,工艺成本低,可微缩性强等特点。研究对该闪存单元的耐久性,数据保持,编程串扰等特性,探讨读取、擦写和编程操作电压的优化方案。
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