纳米球形炭的无催化化学气相沉积制备及其机理研究

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以天然气为碳源,氢气为载气,通过无催化化学气相沉积的方法,合成不同粒径的球形炭。研究了沉积温度、压力和气体比例对化学气相沉积球形炭的影响。用X射线衍射、扫描电子显微镜和透射电子显微镜对实验结果进行表征。研究结果表明制备纳米球形炭(50~100 nm)的优化工艺为沉积温度1150℃、沉积压力5kPa和天然气/氢气(气体流量比)1∶4。本研究对球形炭的气相沉积机理进行了详细的研究。沉积温度对球形炭的尺寸和微结构影响较小,沉积压力对炭核的碰撞几率影响较大。另外,氢在炭形核过程中起来很重要的作用,氢的存在有效的较
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