【摘 要】
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薄膜微量热计是测量亚微米厚度薄膜热动力学特性的重要手段，针对薄膜微量热计的脉冲扫描量热测试方法改进了系统的信号采集与分析模块。微量热计原始信号经高精度仪用放大电路
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薄膜微量热计是测量亚微米厚度薄膜热动力学特性的重要手段，针对薄膜微量热计的脉冲扫描量热测试方法改进了系统的信号采集与分析模块。微量热计原始信号经高精度仪用放大电路后，由高速数据采集卡采集送人PC机；采用LabVIEW软件编写的控制程序并采用Matlab软件实现数据的分析处理。对加载了70nm厚度In薄膜的微量热计进行热容测试，观测到了In薄膜的熔化峰和熔点，表明系统具有足够高的信噪比和检测灵敏度。
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