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采用RF磁控溅射法在PP（丙纶）纺粘法非织造布上制备掺铝氧化锌（AZO）薄膜，并利用原子力显微镜（AFM）、扫描电镜（SEM）及能谱仪（EDX）对AZO薄膜的表面形貌、结构及元素成分进行表征和分析。结果表明：在PP基上溅射沉积的AZO薄膜具有纳米级的尺度，而且颗粒分布均匀、致密；经过溅射后薄膜颗粒中除原先的C元素外，只含有Zn、Al、O元素，而且薄膜的纯度很高。随着沉积时间的延长，纳米AZO薄膜致密性、均匀性越来越好。