【摘 要】
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使用微流控技术实现集成芯片冷却被认为是扩展摩尔定律生命力的一个方向。高密度热点的散热是制约芯片三维集成的瓶颈。热点通常具有不稳定的空间和时间分布性,是影响电子系
【基金项目】
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陕西省工业科技攻关(2016GY-091);西安市科技创新引导项目(201805042YD20CG2612)资助
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使用微流控技术实现集成芯片冷却被认为是扩展摩尔定律生命力的一个方向。高密度热点的散热是制约芯片三维集成的瓶颈。热点通常具有不稳定的空间和时间分布性,是影响电子系统工作性能和导致故障的主要原因,如何针对热点准确冷却成为芯片热管理的关键。基于介电润湿原理,采用数字滴液微流控技术,提出芯片热点自适应冷却方法。构建双平面热点冷却器件的三维模型,分析了冷却热点的工作原理及特性;构建了单平面热点冷却器件的电容模型,并从电学角度深入分析了它的工作原理;设计了一种具有互锁齿结构的电极,从而保证了液滴的连续运动,针对热点动
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