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本文用Monte Carlo方法对入射电子在薄膜中的散射和特征X射线的发射进行数学模拟，提出了基片上元组份薄膜成份的模拟计算方法。用这一方法模拟计算了若干个二元组份薄膜的成份，得到了与实验测定值相一致的模拟计算结果。
基片上二元组份薄膜的定量分析的Monte Carlo模拟计算方法
【摘 要】
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本文用Monte Carlo方法对入射电子在薄膜中的散射和特征X射线的发射进行数学模拟，提出了基片上元组份薄膜成份的模拟计算方法。用这一方法模拟计算了若干个二元组份薄膜的成份
【机 构】
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华东师范大学计算机科学技术系
【出 处】
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应用概率统计
【发表日期】
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2001年2期
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