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介绍了一种经特殊工艺处理的电容式压力微传感器,分析和论证了其结构设计、工作原理和测量电路。
电容式压力微传感器的研制
【摘 要】
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介绍了一种经特殊工艺处理的电容式压力微传感器,分析和论证了其结构设计、工作原理和测量电路。
【机 构】
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吉首大学物理与电子工程系,湖南工程学院数理系
【出 处】
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微纳电子技术
【发表日期】
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2004年03期
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