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期刊论文
一种新型晶片自动定位方法
一种新型晶片自动定位方法
来源 :电子工业专用设备 | 被引量 : 0次 | 上传用户:xiangzuobuxing
【摘 要】
:
阐述一种新型的硅片自动定位方法,并介绍了其特点和具体的实现方法.此方法可适应不同规格晶片的定位要求,实用性强.
【作 者】
:
王学军
【机 构】
:
中国电子科技集团公司第四十五研究所
【出 处】
:
电子工业专用设备
【发表日期】
:
2003年2期
【关键词】
:
晶片
定位方法
定位边
定位槽
半导体
光电传感器
图像识别
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阐述一种新型的硅片自动定位方法,并介绍了其特点和具体的实现方法.此方法可适应不同规格晶片的定位要求,实用性强.
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