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半导体材料与器件九十年代最新进展
半导体材料与器件九十年代最新进展
来源 :半导体杂志 | 被引量 : 0次 | 上传用户:xiwang1998
【摘 要】
:
本文分别从单晶的尺寸、质量、新型器件、微加工及其集成度和性能几方面报导半导体材料与器件九十年代的世界水平。
【作 者】
:
孙以材
【机 构】
:
河北工业大学300130
【出 处】
:
半导体杂志
【发表日期】
:
1996年2期
【关键词】
:
最新进展
半导体材料
半导体器件
new advance
semiconductor materials and devices
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本文分别从单晶的尺寸、质量、新型器件、微加工及其集成度和性能几方面报导半导体材料与器件九十年代的世界水平。
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