【摘 要】
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聚乙烯醇（PVA）薄膜、聚酰亚胺（PI）薄膜、聚酯（PET）薄膜是磁控溅射时使用的几种典型柔性基底薄膜，其主要性能参数有耐温、放气率、拉伸强度和复合强度等，这些性能的好坏是选用磁控溅射
【机 构】
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海军装备研究院航空装备论证研究所,海装航订部
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聚乙烯醇（PVA）薄膜、聚酰亚胺（PI）薄膜、聚酯（PET）薄膜是磁控溅射时使用的几种典型柔性基底薄膜，其主要性能参数有耐温、放气率、拉伸强度和复合强度等，这些性能的好坏是选用磁控溅射柔性基底薄膜的重要标准。本文通过对比磁控溅射镀膜时所用的几种柔性基底薄膜的使用性能，给出了适合磁控溅射制备微屑的柔性基底薄膜和制备多层膜的柔性基底薄膜。
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