【摘 要】
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频带反射腔控耿氏振荡器具有单调谐的特性,适于作为电量或非电量的有源传感器.本文介绍一种用于测量塑料薄膜厚度的腔控振荡器,频带反射腔用圆柱TE_(011)腔,工作在三公分波段
【机 构】
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厦门大学,厦门大学工程师,硕士,讲师,副教授
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频带反射腔控耿氏振荡器具有单调谐的特性,适于作为电量或非电量的有源传感器.本文介绍一种用于测量塑料薄膜厚度的腔控振荡器,频带反射腔用圆柱TE_(011)腔,工作在三公分波段,对于ε’_r≥2.0以上塑料薄膜,测量厚度的分辨率为±0.1μm,精度±0.75μm(开机半小时后,不进行零点校正),测量范围0～200μm.且可实现无接触测量,适于检验应用.
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