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本文采用氧气氛无压烧结技术制备了高密度ITO靶材,对高密度ITO靶材的烧结过程进行了研究,分析了不同烧结条件下ITO靶材的微观组织和二次相结构,探讨了高密度ITO靶材的烧结致密化机理。
ITO靶材烧结行为研究
【摘 要】
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本文采用氧气氛无压烧结技术制备了高密度ITO靶材,对高密度ITO靶材的烧结过程进行了研究,分析了不同烧结条件下ITO靶材的微观组织和二次相结构,探讨了高密度ITO靶材的烧结致
【机 构】
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稀有金属特种材料国家重点实验室,郑州大学,洛阳晶联光电材料有限责任公司,桂林电子科技大学,北京九州新科科技有限公司,河南科技大学
【出 处】
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材料科学
【发表日期】
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2019年8期
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