【摘 要】
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利用碳纳米管生长技术和微加工技术,开展了微纳单元的实验方法研究,探索了“管压电极”和“电极压管”的微纳单元制备工艺。结构表征和电学特性测试结果表明,这两种工艺均可
【机 构】
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重庆光电技术研究所,重庆科技学院电子信息工程系,清华大学,
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利用碳纳米管生长技术和微加工技术,开展了微纳单元的实验方法研究,探索了“管压电极”和“电极压管”的微纳单元制备工艺。结构表征和电学特性测试结果表明,这两种工艺均可以加工出具有欧姆接触或者是肖特基接触的微纳单元,但“管压电极”工艺具有过程简单、成本低等特点,为基于碳纳米管的微纳单元的集成化制备工艺提供了新的思路。
The experimental research on the micro / nano unit was carried out by using carbon nanotube growth technology and micro-fabrication technology. The preparation process of micro / nano unit of “tube electrode” and “electrode tube” was explored. The results of structural characterization and electrical characterization show that both of them can fabricate micro / nano units with ohmic contact or Schottky contact. However, the process of tube voltage electrode has the advantages of simple process and low cost. It provides a new idea for the integrated preparation of CNT-based micro / nano cells.
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