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传感器与微电子技术、固态技术紧密相关。随着50年代晶体管及基于平面技术的集成电路的开发,人们围绕传感器的功能进行了大量的研究,这些都直接导致了多种固态传感器的研发及其市场的形成。第一个硅传感器即利用了单二极管的光敏特性和温敏特性。随后,压敏及霍耳效应也被纳入了研究的范畴。70年代,早期的压敏及磁敏传感器问世。