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碳化硅表面双层碳膜制备取得新进展
碳化硅表面双层碳膜制备取得新进展
来源 :中国材料进展 | 被引量 : 0次 | 上传用户:chenminer
【摘 要】
:
近日,中国科学院兰州化学物理研究所先进润滑与防护材料研究发展中心在四氯化碳气氛下碳化硅表面双层碳膜制备方面取得了新进展。研究人员以四氯化碳为氯气源和碳源,通过碳化
【出 处】
:
中国材料进展
【发表日期】
:
2011年7期
【关键词】
:
碳化物
膜制备
硅表面
中国科学院兰州化学物理研究所
四氯化碳
化学气相沉积
防护材料
研究人员
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近日,中国科学院兰州化学物理研究所先进润滑与防护材料研究发展中心在四氯化碳气氛下碳化硅表面双层碳膜制备方面取得了新进展。研究人员以四氯化碳为氯气源和碳源,通过碳化物衍生碳(CDC)过程和化学气相沉积(CVD)法,成
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