局部信息统计的LTPS/IGZO缺陷快速检测优化方法

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在检测具有高密度,高精度的LTPS/IGZO玻璃基板缺陷时,往往由于其要求的处理速度快,处理的像素信息量大而不能很好的保证检测效果。为解决这个问题,本文提出了一种快速的模板匹配方法,对检测样本背景图像进行模板匹配之后删除,再设计一个直方图噪声统计图中R、G、B三通颜色像素信息,去除法过滤图像噪声,保留缺陷图像信息,从而达到快速检测目的,并保证产品检测的识别率。实验结果表明,本文的方法在加快缺陷检测速度的基础上,也很好的保证了产品的检测识别率,与现有的95.6%的识别率相比,此方法可达到97%以上。
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