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用于大尺寸测量的无长导轨激光光纤干涉仪
用于大尺寸测量的无长导轨激光光纤干涉仪
来源 :天津大学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:sjzm2009
【摘 要】
:
介绍了一种用于大尺寸、无长导轨干涉测量系统,该系统由两种干涉仪构成。半导体激光光纤干涉仪用于定位,He-Ne激光干涉仪用于测量光程差。文中还就提高定位精度,采用脉冲电泳调制方法
【作 者】
:
王仲
肖海
【机 构】
:
天津大学精密仪器与光电子工程学院
【出 处】
:
天津大学学报
【发表日期】
:
1998年6期
【关键词】
:
光纤干涉仪
光程倍增
激光干涉仪
大尺寸测量
opticfiberinterferometer
absolutedistancemeasurement
opti
【基金项目】
:
国家自然科学基金
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介绍了一种用于大尺寸、无长导轨干涉测量系统,该系统由两种干涉仪构成。半导体激光光纤干涉仪用于定位,He-Ne激光干涉仪用于测量光程差。文中还就提高定位精度,采用脉冲电泳调制方法调制半导激光器作了介绍。实验中,采用100mm导轨,测量距离为800mm,测量误差为±2μm。
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