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介绍了一种用于大尺寸、无长导轨干涉测量系统，该系统由两种干涉仪构成。半导体激光光纤干涉仪用于定位，Ｈｅ－Ｎｅ激光干涉仪用于测量光程差。文中还就提高定位精度，采用脉冲电泳调制方法调制半导激光器作了介绍。实验中，采用１００ｍｍ导轨，测量距离为８００ｍｍ，测量误差为±２μｍ。
用于大尺寸测量的无长导轨激光光纤干涉仪
【摘 要】
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介绍了一种用于大尺寸、无长导轨干涉测量系统，该系统由两种干涉仪构成。半导体激光光纤干涉仪用于定位，Ｈｅ－Ｎｅ激光干涉仪用于测量光程差。文中还就提高定位精度，采用脉冲电泳调制方法
【机 构】
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天津大学精密仪器与光电子工程学院
【出 处】
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天津大学学报
【发表日期】
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1998年6期
【基金项目】
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国家自然科学基金
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