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用智能化CCD光谱仪进行微波(2450MHz)激发的低温等离子体的发射光谱诊断,测量了不同放电功率、流量和压强下的H_α,H_β,H_γ谱线的强度,结果与双探针法一致。
CCD光谱仪诊断低温微波等离子体
【摘 要】
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用智能化CCD光谱仪进行微波(2450MHz)激发的低温等离子体的发射光谱诊断,测量了不同放电功率、流量和压强下的H_α,H_β,H_γ谱线的强度,结果与双探针法一致。
【机 构】
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中国科学技术大学近代物理系,中国科学技术大学材料科学与工程系
【出 处】
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中国科学技术大学学报
【发表日期】
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1991年4期
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