P-μc-Si1-xGex :H thin film by VHF-PECVD

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在这份报纸,一系列硼做了微晶质的 hydrogenated 硅金者(p-渭 c -Si1?xGex:H) 被很高的频率扔从 SiH4 和 GeF4 混合物的提高血浆的化学蒸汽免职(VHF-PECVD ) 。电影鈥 ? 作文,结构和电的性质上的 GeF4 集中的效果被学习。结果证明随 GeF4 集中的增加, Ge 部分 x 增加。黑暗传导性和水晶的体积部分增加第一,然后减少。当 GC 是4%时,有高电导率的p- 渭c -Si1?xGex:H 材料,低激活精力(蟽= 1.68 S/cm , E g= 0.
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