【摘 要】
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采用磁控溅射法制备了Ti/TiB2周期性（T=2,3,4,6,12）多层膜,利用X射线衍射仪、场发射扫描电子显微镜分析了薄膜的相结构和表面（断面）形貌,采用纳米压痕仪、多功能摩擦摩损试验机和
【机 构】
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淮阴工学院江苏省介入医疗器械研究重点实验室
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采用磁控溅射法制备了Ti/TiB2周期性（T=2,3,4,6,12）多层膜,利用X射线衍射仪、场发射扫描电子显微镜分析了薄膜的相结构和表面（断面）形貌,采用纳米压痕仪、多功能摩擦摩损试验机和显微硬度计研究了多层膜的纳米硬度、弹性模量、膜基结合力以及断裂韧性。结果表明：Ti/TiB2多层膜具有清晰的纳米层状结构,薄膜表面致密平整,与基体保持着良好的物理结合。多层膜的硬度和弹性模量随着调制周期的增加而增大,在周期T=12时,多层膜的硬度和弹性模量达到最大值,分别为35.8和349 GPa;多层膜的断裂韧性随着
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