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采用溶胶-凝胶（Sol-gel）法和旋涂法在单晶硅片表面制备了5％（摩尔分数）Er3＋掺杂的Yb2Ti2O7薄膜.采用X射线衍射仪（XRD）和扫描电子显微镜（SEM）对薄膜的相结构和表面及截面形貌进行了表征,通过荧光光谱仪检测了薄膜的上转换发光特性.结果表明：Ep＋掺杂的Yb2Ti2O7薄膜为单一面心立方Yb2Ti2O7相结构,薄膜表面较光滑平整,颗粒尺寸约为80 nm.976 nm半导体激光器（LD）激发Er3＋掺杂的Yb2Ti2O7薄膜获得了较强的绿色、红色和红外上转换发光,分别对应于Er3＋的2H1