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采用化学共沉淀法制备了铟锡氢氧化物纳米粉,对其热处理前后的粉体进行了XRD和TEM分析,结果表明:未热处理的为铟锡氢氧化物,200 ℃热处理后铟锡氢氧化物部分晶化,300 ℃热处理后全部转变成晶态,然后随着温度升高逐渐转变为具有立方结构的铟锡氧化物纳米粉;600 ℃热处理1 h后粉末粒度为5~10 nm,铟锡质量比接近9∶1.铟锡氧化物颗粒接近球形,分散性好.