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微结构表面金刚石车削加工过程中由于切削深度突变而易于引起切削力干扰．采用滑模变结构控制算法来解决这一问题。研制了用于微结构表面加工的快速伺服刀架，建立了快速伺服刀架动力学模型，并设计了基于连续时域模型的滑模变结构控制器，它与系统的参数变化及扰动无关，因此在切削过程中具有很好的鲁棒性。另外，滑模变结构控制系统快速性好，无超调，计算量小，实时性强，很适合于加工控制。针对滑模变结构控制算法与常规PID控制算法进行了阶跃响应对比实验，结果表明滑模变结构控制算法比常规PID控制算法的超调小，稳态误差小于20nm。最