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利用HIPIMS与DCMS共沉积技术制备AlCrTiN复合硬质涂层，通过调控AlCr靶脉冲峰值电流来制备不同峰值电流下的AlCrTiN涂层。采用XRD、SEM等分析手段表征不同峰值电流下AlCrTiN涂层的组织结构及微观形貌；通过纳米压痕、真空退火、高温摩擦磨损试验分析涂层的力学性能、热稳定性能及摩擦学性能。结果表明：AlCrTiN涂层为典型的面心立方结构，随峰值电流的增加，（111）及（200）晶面呈现竞争生长的状态；随真空退火温度上升，各涂层硬度值出现明显下降。1000℃退火后，各涂层硬度维持在17G