【摘 要】
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为了解决大口径光学平面的高精度检测问题,用绝对检验方法对大口径光学平面局部进行检测.采用两平晶互检的方法,得到局部面型的绝对面型分布情况,再通过子孔径拼接技术将有重
【机 构】
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南京理工大学电子工程与光电技术学院
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为了解决大口径光学平面的高精度检测问题,用绝对检验方法对大口径光学平面局部进行检测.采用两平晶互检的方法,得到局部面型的绝对面型分布情况,再通过子孔径拼接技术将有重叠的各个子孔径数据进行拼接,从而得到全口径上的面型分布情况.首先,在中小口径的干涉仪上进行了实验,用一块60mm的小口径平晶检测了150mm口径的Zygo标准面,得到了其水平方向上的绝对面型分布,将其和全口径三面互检法绝对检验数据进行了对比分析,2种测量方法的最大PV偏差为0.004λ,RMS偏差为0.001λ,结果基本吻合.然后将所述的方法用
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