Avago Technologies采用TSV制备MEMS滤波器

来源 :微纳电子技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户：sme_william

【摘要】

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<正>Avago Technologies公司的BAW滤波器是一款采用其薄膜体声波谐振器(FBAR)与微帽技术制备的全硅MEMS产品,每年量产超过10亿台,市场份额为65%,显然其在BAW滤波器市场占主导

【出处】

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微纳电子技术

【发表日期】

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2014年04期

【关键词】

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滤波器 Avago Technologies TSV

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<正>Avago Technologies公司的BAW滤波器是一款采用其薄膜体声波谐振器(FBAR)与微帽技术制备的全硅MEMS产品,每年量产超过10亿台,市场份额为65%,显然其在BAW滤波器市场占主导地位。Avago Technologies公司的FBAR采用硅基MEMS技术,其共振层由AlN压电材料制作。其ACMD-7612专为手机和数据终端设计,工作在UMTS频率范围,其TX端口最大射频输入功率为

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