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期刊论文
投影光刻机TTL对准原理与故障分析
投影光刻机TTL对准原理与故障分析
来源 :电子工业专用设备 | 被引量 : 0次 | 上传用户:djjsl
【摘 要】
:
论述了ASML公司某型投影光刻机TTL对准系统的基本原理和主要构成,介绍了对准系统在光刻工艺中的工作过程,结合多年的投影光刻机维修经验总结了对准系统的常见故障,并给出了分
【作 者】
:
张文雅
宋健
【机 构】
:
中国电子科技集团公司第十三研究所
【出 处】
:
电子工业专用设备
【发表日期】
:
2016年04期
【关键词】
:
氦氖激光器
同轴对准
投影光刻机
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论述了ASML公司某型投影光刻机TTL对准系统的基本原理和主要构成,介绍了对准系统在光刻工艺中的工作过程,结合多年的投影光刻机维修经验总结了对准系统的常见故障,并给出了分析以及解决方法。
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