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采用一种非旁轴衍射理论分析了深紫外光照射系统中的参考波面,分别对理想和实拍圆孔的参考波前进行了计算。结果显示,孔的不规则度对波面的P-V值影响较大,但如果孔的不规则度在0.02之内、波面的P-V值控制在1.5%波长范围以内,能够满足实际需要。结果表明,孔的不规则度对光强的均匀性影响不大,如果要提高波面的均匀度,需要减小波面的NA大小。