大口径平面光学零件气囊抛光头的研究

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根据大口径平面光学零件的特点,对抛光面积进行了理论分析,设计了一种多环式气囊抛光头,并介绍了机械结构和抛光方式,利用多环气囊抛光头对平面光学零件进行了工艺实验.实验结果表明:采用该气囊抛光头能够加工出高精度面形质量的平面光学零件.
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