干净的机器人

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【摘要】

：

干净的机器人在电子工业中，机器人正在把人赶出一些不欢迎有人或是人无法置身其中的地方，由它们来承担各种各样异乎寻常的任务。半导体制造厂的洁净室正在变得越来越清洁，人永远

【作者】

：

燕生

【出处】

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国外科技动态

【发表日期】

：

1997年7期

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干净的机器人在电子工业中，机器人正在把人赶出一些不欢迎有人或是人无法置身其中的地方，由它们来承担各种各样异乎寻常的任务。半导体制造厂的洁净室正在变得越来越清洁，人永远也不可能满足这个工业上所希望达到的对清洁的苛刻要求。同样，芯片制造厂商也越来越多地用...

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