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通过反射率、透射率参量测试和高分辨电镜分析，研究了硅薄膜中微晶粒数量、尺寸和分布对镀膜玻璃镜面反射效果的影响。发现通过一定的热处理工艺可以调整硅膜中的晶粒状况，得到硅微晶粒数量众多、分布弥散且晶粒大小在数十至数百纳米的硅／非晶硅复合薄膜，使入射光产生漫散射进而有效降低镜面反射所造成的光污染。
低镜面反射硅镀膜玻璃的微结构调制
【摘 要】
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通过反射率、透射率参量测试和高分辨电镜分析，研究了硅薄膜中微晶粒数量、尺寸和分布对镀膜玻璃镜面反射效果的影响。发现通过一定的热处理工艺可以调整硅膜中的晶粒状况，得到
【机 构】
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硅材料国家重点实验室
【出 处】
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材料科学与工程
【发表日期】
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2000年4期
【基金项目】
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国家自然科学基金!资助(5 9872 0 2 9)
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