Sol-Gel提拉法制备ZAO薄膜及其光电性能

来源 :大连交通大学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:sunday_rectina
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采用溶胶-凝胶(Sol-Gel)浸渍提拉法(基于组装的小型提拉装置)在普通玻璃片上制备出ZnO:Al(ZAO)薄膜,利用扫描电子显微镜、紫外-可见分光光度计、数字式四探针测试仪等检测手段分别对其进行了分析比较。结果表明:Al^3+浓度为1.0%的ZAO薄膜表面最为致密均匀;随着退火温度的提高,薄膜的晶体平均粒径明显增大,电阻率逐渐减小;不同掺Al量的ZAO薄膜在可见光区的平均透光率均在70%以上,当Al^3+浓度为1.5%时,550℃退火2h,电阻率最小,为5.9×10^-2Ω·cm。
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