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微机械加速度计的分析与测试
微机械加速度计的分析与测试
来源 :应用科技 | 被引量 : 0次 | 上传用户:skjthit
【摘 要】
:
概述了力反馈型微机械加速度计的基本结构和工作原理,对其在重力场静态翻滚试验的输出特性作了数据分析,并对这种微机械加速度计的性能特点进行了综合评价.
【作 者】
:
郝颖
石继雨
乐慧康
【机 构】
:
哈尔滨工程大学
【出 处】
:
应用科技
【发表日期】
:
2003年1期
【关键词】
:
微机械加速度计
测试
灵敏度
micro-machined accelerometer
sensitivity
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概述了力反馈型微机械加速度计的基本结构和工作原理,对其在重力场静态翻滚试验的输出特性作了数据分析,并对这种微机械加速度计的性能特点进行了综合评价.
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