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本文报道了用单溶液超声波雾化MOCVD工艺在金属Ag基体上制备了YBCO超导膜的结果。将Y(TMHD)3、Ba(TMHD)2和Cu(TMHD)2按要求比例溶于四氢呋喃中,经超声波雾化,通过毛细管送入蒸发室,随即进入沉积室,在Ag基体上沉积YBCO。该技术有效地简化了CVD过程,提高了所制样品的再现性。XRD分析表明,YBCO膜具有较好的c-轴取和向单相性。