【摘 要】
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利用直流磁控溅射技术，应用双靶轮流反应溅射工艺，制备了CrN／ZrN多层梯度薄膜．采用XRD，AES，XPS和纳米硬度仪等测试方法，对CrN／ZrN多层梯度薄膜的微观结构和纳米硬度进行了研究．结果表
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利用直流磁控溅射技术，应用双靶轮流反应溅射工艺，制备了CrN／ZrN多层梯度薄膜．采用XRD，AES，XPS和纳米硬度仪等测试方法，对CrN／ZrN多层梯度薄膜的微观结构和纳米硬度进行了研究．结果表明：在N2反应气体环境下通入更具活性的NH3气体所合成的薄膜结构中ZrN和CrN结晶趋向多元化共存，其纳米硬度明显提高，在0．6mL／min(seem)的N2流量和0．15mL／min的NH3流量条件下，薄膜纳米硬度达到35GPa。
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