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目的：研究显微激光共焦拉曼散射装罩性能快速测定方法，为进行其他样品拉曼测定提供质量保证。方法：利用Horiba JY公司的Lab Ram INV倒置显微激光共焦拉曼散射仪进行硅片标准样的实验。利用硅片标准样进行系统校正．并利用标准样进行系统性能参数的测定。结果：实验得到硅片标准样位于520．7cm。的谱线强度随照射激光功率、共焦孔径和时间的变化曲线。结论：520．7cm。谱线强度随照射激光功率成线性关系，利用该谱线强度的变化可以间接反映照射到样品处的激光功率；520．7cm。谱线强度随共焦孔径的变化曲线可