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期刊论文
压漏孔校准装置性能测试
压漏孔校准装置性能测试
来源 :真空与低温 | 被引量 : 0次 | 上传用户:sddhyyj
【摘 要】
:
正压漏孔校准装置可采用定容法和定量气体动态比较法进行正压漏孔的校准。定容法的校准范围是100~5×10^-3Pa.L/s,不确定度小于9.10%;定量气体动态比较法的校准范围是1×10^-2~5×10^-5Pa.L/s,不确定度小于14.20%。
【作 者】
:
张涤新
张建军
【机 构】
:
兰州物理研究所
【出 处】
:
真空与低温
【发表日期】
:
2000年3期
【关键词】
:
正压漏孔
校准装置
性能测试
正压质谱检漏仪
pressure leak calibration apparatus performance tests
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正压漏孔校准装置可采用定容法和定量气体动态比较法进行正压漏孔的校准。定容法的校准范围是100~5×10^-3Pa.L/s,不确定度小于9.10%;定量气体动态比较法的校准范围是1×10^-2~5×10^-5Pa.L/s,不确定度小于14.20%。
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