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本文根据等离子体光谱多线解析法的基本原理,研制出了一种用微型计算机测控的光电光谱诊断装置。该装置能对未知配比的电弧等离子体中的各组分浓度以及对应的温度、压力等热力学基本参数及其分布进行同时测定;并具有快速、定量、时间与空间分辨率高、信息量大以及操作简便优点。大大地扩大了传统的光谱诊断装置的测试功能和测试范围,为电弧等离子体的热力学分析、加工过程的自动控制和污染的防治等提供了必要的前提。本装置已用于二元及多元混合气体电弧等离子体、高频直流脉冲电弧等离子体的诊断。本文将着重介绍该装置的原理、结构、性能及使用情