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描述将散射法、三角法、干涉法三种不同工作原理的光电传感器功能集成为一个新的传感器 ,即一个具有同一光源、共用光路和同一光电信号接收器件的传感器。它可同时测量 Ra=0 .0 0 2 5μm～ 5μm范围内的表面粗糙度、表面微观形貌 ,以及 0～ 30 0μm的微小位移。测量精度与采用前述三种工作原理的单个传感器相近。