【摘 要】
：
利用金属蒸汽真空弧（ＭＥＶＶＡ）离子源引出强流Ｔｉ离子注入单晶硅，当ＭＥＶＶＡ源引出电压为４０ｋＶ，束流密度达到１００μＡ／ｃｍ２，Ｔｉ离子剂量为５×１０１７／ｃｍ２，Ｔｉ离子注入单晶硅可得到Ｃ５４－ＴｉＳｉ２的注入层，且薄层电阻低于３．０Ω／□．本文用束流热效应讨论了形成硅
论文部分内容阅读
利用金属蒸汽真空弧（ＭＥＶＶＡ）离子源引出强流Ｔｉ离子注入单晶硅，当ＭＥＶＶＡ源引出电压为４０ｋＶ，束流密度达到１００μＡ／ｃｍ２，Ｔｉ离子剂量为５×１０１７／ｃｍ２，Ｔｉ离子注入单晶硅可得到Ｃ５４－ＴｉＳｉ２的注入层，且薄层电阻低于３．０Ω／□．本文用束流热效应讨论了形成硅化物的机理．
When the MEVVA source voltage is 40kV, the beam current density is 100μA / cm2, the Ti ion dose is 5 × 1017 / cm2, the Ti ion implantation single-crystal silicon Crystalline silicon can be C54-TiSi2 injection layer, and the sheet resistance is less than 3.0Ω / □. In this paper, the mechanism of silicide formation is discussed with the beam effect.
其他文献
任何艺术创作无不以塑造鲜明、生动感人的艺术形象为其首要任务。影片《残雪》也不例外,它精心塑造的一些主要人物形象,都是真实、生动,具有鲜明的个性特征的。周丰,是党的
本文详细分析了平面波激励非线性介质后介质的非线性极化、麦克斯韦方程及其解、广义的反射和透射定律；导出了板状非线性介质表面任意阶耦合波的反射场和透射场；对介质满足相位
本文分析了中职数学教学的现状，指出微课在中职数学教学中的实际应用：一是要注意微课在重点、难点中的应用，二是要关注微课在课前预习中的应用，三是要利用几何画板和录频软件开发
上海美术电影制片厂彩色木偶片《美女星》摄制组的创作人员在贵州省贵阳、黔东南苗族侗族自治州等地深入生活,收集素材后,最近已完成了影片的人物和布景制作,目前正在拍摄中
油田在油井自喷初期,井口普遍安装定量油嘴,通过更换不同尺寸的定量油嘴来控制油井油压达到限制和稳定油井产量及防止地层出砂的目的。定量油嘴在应用中有诸多不便,为此,我们
彩色故事片《情天恨海》中,有许多地方出现了香港的实景。其中有香港的俯瞰全景,有香港的码头、启德机场、九龙车站,以及五十四层楼的大酒家等等。很多观众在影片中看到这些
近来,埃及报刊杂志上连续刊登批评文章,揭露埃及电影中的许多抄袭、改头换面行为。文章列举出大批片名,说明目前抄袭现象非常严重。如新影片《奇怪呀,时光》,就是从已上映多
2008年5至8月同期收治于北京胸科医院的淋巴瘤及淋巴结核各1例,2者在临床表现和影像学表现有许多相似之处,极易误诊,现报告如下。1资料和方法1·1病例资料病例1:患者,女,22岁