电子部十一所1987年度学术年会报告摘要

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本文综述了激光在结晶硅和非晶硅太阳能电池制造过程中的应用。激光在结晶硅太阳能电池上直接制造电极,可以减少电极复盖面,提高电极强度,增加导电带截面,且省去了掩膜工艺。激光在非晶硅太阳能电池制造上的应用,主要在于切割TCO膜、a-Si膜和金属电极。切割中控制好可靠切割因素△Α可避免切割上一层膜层时伤及下一层膜层。建议采用激 This paper summarizes the application of laser in the fabrication of crystalline silicon and amorphous silicon solar cells. Laser directly on the crystalline silicon solar cell electrodes, can reduce the electrode coverage, increase electrode strength, increase the cross-section of the conductive tape, and eliminating the need for masking process. Laser in amorphous silicon solar cell manufacturing applications, mainly cutting TCO film, a-Si film and metal electrodes. Cutting control of a reliable cutting factor △ A can avoid cutting a layer of film hurt the next layer of film. It is recommended to use shock
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