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脉冲激光辐照TiO2/SiO2薄膜的热效应
脉冲激光辐照TiO2/SiO2薄膜的热效应
来源 :中国工程物理研究院科技年报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:l1otus
【摘 要】
:
用1.06μm单脉冲激光辐照TiO2/SiO2薄膜,利用得到的综合参数K来计算不同能量下单脉冲激光辐照薄膜产生的温度场和热应力场,并对计算结果进行分析,获得了温度场和热应力场在激光辐
【作 者】
:
周维军
袁永华
桂元珍
刘海淘
【出 处】
:
中国工程物理研究院科技年报
【发表日期】
:
2008年1期
【关键词】
:
TiO2/SiO2薄膜
脉冲激光辐照
热效应
热应力场
计算结果
综合参数
温度场
膜过程
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用1.06μm单脉冲激光辐照TiO2/SiO2薄膜,利用得到的综合参数K来计算不同能量下单脉冲激光辐照薄膜产生的温度场和热应力场,并对计算结果进行分析,获得了温度场和热应力场在激光辐照过程中的变化过程及热应力在脉冲激光辐照薄膜过程中起主导作用。
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