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针对低浓度微纳粒子快速准确收集这一MEMS领域瓶颈问题展开了相关研究．实验研究发现，在对称电极芯片上施加低压低频交流电信号，样品中的微纳粒子收集到电极表面固定区域．以交流电场机制为基础，建立了交流电渗对称电极的二维模型及等效电路，推导了交流电渗作用下的微流体流动速度公式，对比研究了介电泳、重力以及浮力作用下微纳粒子的运动速度．通过数值仿真计算，分析了交流电渗作用下微纳粒子在对称电极上的收集位置，研究了介电泳力对于微纳粒子收集的影响，并对仿真与实验进行了对比分析．研究表明，在交流电场机制中低压低频条件下，交