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根据高频振动基准装置的研究现状和应用需求,研究了压电式高频振动台的优化设计方案,并对压电式高频振动台在设计中的几个重要问题:高频台各组成部分的功能及选择、压电叠堆设计参数的优化、接触界面对振动台性能的影响与预应力的选择及影响等进行了分析。研制了新型压电式高频振动台,其工作频率为2-50kHz,最大振幅500nm。给出了新型压电式高频振动台的主要技术指标和比对实验数据。