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采用微机电系统（MEMS）技术设计和制作了一种基于氮化铝（A1N）基陶瓷微热板2单元气体传感器阵列。传感器单元由加热器电极和信号电极组成，中间加热区周同通过激光微加工刻蚀有4个热隔离通孔以减少热传导损失，并通过4个梁与边缘相连接。利用ANSYS软件对传感器阵列热结构进行了热场耦合有限元仿真分析，验证了设计的合理性及T艺的可行性。通过热干扰测试分析得出，传感器单元1工作在300mW时，加热温度为130．6℃，对另一单元产生的热干扰温度为119．1℃，两单元同时工作在300mw时产生的热温差仅为3．9℃，两单